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EP6測量(liang)平臺是一款結(jie)構簡(jian)單、高(gao)精(jing)確度(du)、多(duo)(duo)功(gong)能、及高(gao)性價比的(de)150mm基準的(de)探針(zhen)臺，解決了一系列的(de)測量(liang)難(nan)題。該探針(zhen)臺采用(yong)(yong)了模(mo)塊化設(she)計(ji)，提供了眾多(duo)(duo)的(de)配(pei)置，旨在滿足諸如單切晶(jing)片(pian)至 150mm 晶(jing)圓(yuan)、模(mo)塊、印刷電路板組件和微(wei)流體芯片(pian)等多(duo)(duo)種(zhong)器件的(de)精(jing)密電測量(liang)的(de)需(xu)要。EP6可提供三種(zhong)預(yu)配(pei)置的(de)探針(zhen)臺，均針(zhen)對用(yong)(yong)戶(hu)的(de)應用(yong)(yong)及預(yu)算而優化。